Naon anu dimaksud pelat poles wafer keramik alumina kemurnian tinggi?

Kalayan kamekaran industri semikonduktor anu gancang, skala industri ieu parantos ningkat gancang, sareng alat-alat manufaktur semikonduktor teras mekar kana presisi sareng kompleksitas. Kusabab keramik gaduh kaunggulan karasa anu luhur, modulus élastis anu luhur, résistansi aus anu luhur, insulasi anu luhur, résistansi korosi, ékspansi anu handap, jsb., éta tiasa dianggo salaku bagian tina mesin poles silikon, alat perlakuan panas epitaksial/oksidasi/difusi, mesin litografi, alat déposisi, alat étsa semikonduktor, mesin implantasi ion sareng alat-alat sanésna, janten panalungtikan sareng pamekaran sareng produksi bagian keramik presisi sacara langsung mangaruhan kamekaran industri semikonduktor. Sarat téknis pikeun persiapanana beuki luhur.

Alumina kamurnian luhur, 99,7%-99,9% alumina.
Kakuatan mékanis anu luhur, résistansi maké anu luhur, insulasi listrik anu luhur, stabilitas kimia anu luhur, résistansi panas anu saé sareng résistansi korosi. Ayeuna, panggunaan wafer silikon semikonduktor grinding cakram keramik mangrupikeun metode grinding anu paling unggul sareng canggih. Prosés grinding dua sisi dianggo pikeun ngagiling wafer silikon anu dipotong, sareng kualitas wafer grinding ningkat ku cara ningkatkeun prosés grinding (bahan cakram, cairan grinding, tekanan grinding sareng kecepatan grinding, jsb.). Khususna, panggunaan pelat keramik tinimbang pelat beusi cor, pikeun nyingkahan grinding dina permukaan utama wafer anu disababkeun ku tatu atanapi polusi, ngirangan bubuka ion logam, tiasa ngirangan pamrosésan silikon salajengna, ngirangan waktos prosés (korosi) salajengna, ningkatkeun efisiensi produksi, sareng ngirangan leungitna pamrosésan silikon, ningkatkeun panggunaan silikon sacara signifikan.

Pelat poles wafer alumina tinggidianggo dina industri semikonduktor, minyak bumi, kimia, fotovoltaik, kristal cair sareng industri sanésna, sapertos bagian mékanis, bagian éléktronik, cakram induksi gelombang mikro, bahan insulasi sareng bagian sanésna, alat semikonduktor, alat vakum, alat manufaktur kristal cair sareng bagian sanésna. Keramik alumina ukuran ageung sareng kemurnian tinggi gaduh nilai aplikasi anu penting dina industri safir sareng industri chip semikonduktor. Éta mangrupikeun dukungan konci sareng konsumsi pikeun polesan mékanis kimiawi (CMP) tina wafer safir sareng silikon semikonduktor. Keramik alumina ukuran ageung sareng kemurnian tinggi ogé tiasa dianggo salaku substrat alumina pikeun LCD.